Elaboración de un control de servomecanismo para la caracterización zonal de materiales semiconductores por la técnica de fotorreflectancia

Resumen

En este trabajo se presenta la automatización de un control electrónico digital para la caracterización zonal de materiales semiconductores, por medio de la técnica de Fotorreflectancia (FR) a temperatura ambiente. En este tipo de caracterización, la interacción de la radiación con la materia se logra dirigiendo dos haces de luz hacia la muestra mediante arreglos de espejos y lentes, lo cual requiere de una precisa alineación óptica. Por esta razón se agregó al camino óptico un servomecanismo para el control digital del posicionamiento de la muestra, dejando fija la zona de incidencia de los haces de luz, lo cual permitió desplazar en un sistema coordenado XY la muestra bajo estudio, lográndose resoluciones hasta de 1.0 μm en ambos ejes. El control digital de la posición de estos haces de luz en la muestra, se logró mediante un sistema electrónico embebido basado en un microcontrolador AVR, ATMega 16 y una herramienta de visualización elaborada en el software LabVIEW de la empresa National Instruments. En la calibración del sistema de medida se emplearon monocristales comerciales de GaAs, lográndose reproducir información física reportada en la literatura especializada para este material.